テクニカルデーター
製品名
化学構造式
吸収波長
特性
用途
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tr-pag-20304
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外観：類白固体
純度：99.50%
単一金属イオン：10 ppb
酸値：0.001 mol/kg
krf フォトレジスト
tds
tr-pag-30204
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外観：類白固体
純度：99.50%
単一金属イオン：10 ppb
酸値：0.001 mol/kg
krf フォトレジスト
tds
tr-pag-40507
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外観: ほとんど白色の固体
純度: ≥99.50%
単一の金属イオン: ≤200ppb
酸の値: ≤0.002 mol/kg
i線フォトレジスト
tds
tr-pag-42203
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外観: 淡黄色の固体
純度: ≥99.50%
単一の金属イオン: ≤200ppb
酸の値: ≤0.002 mol/kg
i線フォトレジスト
tds
tr-tm1302
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外観: 淡黄色から無色の液体
純度: ≥99.00%
krf フォトレジストポリマー用モノマ
tds
tr-b601
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分子量の平均: 8000 ~ 15000
分子量の分布: < 1.8
水分: 0.5%
残留モノマー: < 1.0%
単一の金属イオン: < 50 ppb
hs = 60 ~ 70% 、 st = 10 ~ 25%
tba=5-20%
krf フォトレジストポリマー phs 樹脂
tds
tr-b602
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分子量の平均: 15000 ± 1000
分子量の分布: 1.50 ~ 1.80
残留モノマー: < 1.0%
単一の金属イオン: < 50ppb boc: 30 ± 5%
krf フォトレジストポリマー phs 樹脂
tds